大功率微波等离子

等 离子 体 的分 类

等 离子 体 被分 为 高温 和 低温 等 离子 体 。其 中 ，高 温 等离 子 体中 几 乎所 有 的组 分 都处 于 热平 衡 状态 ，通 常用 于 热核 聚 变发 电 。低 温 等离 子 体中 电 子、 离 子、 原 子和 分 子不 处 于热 平 衡状 态 ，因 而 也称 为 非热等 离 子体 ， 其电 子 温度 可 达10000 ～100000 K（ 1～10 eV） ，因 而 多用 于 物质 的 合成 和 加工。 由 于低 温等 离子 体 的非 平 衡性 质 、低 功 率需 求 和其 在 相对 较 低的 温 度下 诱 导物 理 和化 学 反应 的 能力 ， 已被 广 泛地用 于 各类 催 化剂 的 制备 和 改性 技 术中。 基 于低 温 等离 子 体产 生 的机 理 、施 加 的压 力 和电 极 的几 何 形状， 低 温等 离 子体 被 分为 辉 光放 电 、电 晕 放电 、 介质 阻 挡放 电 （DBD） 、 射频 放 电（ RF） 和微 波 放电 ，

大功率微波等离子火炬设备

微波等离子设备

高温火炬

915MHz

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