真空泵的技术术语真空泵除主要特性，极限压力，流量和抽气速率之外，尚有一些名词术语表达泵的有关性能和参数。
1、启动压力。泵无损坏启动并有抽气作用时的压力。
2、前级压力。排气压力低于101325Pa的真空泵的出口压力。
3、前级压力。超过它能使泵损坏的前级压力。
4、工作压力。对应流量的入口压力。在此压力下，泵能连续工作而不恶化或损坏。
5、压缩比。泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。
6、何氏系数。泵抽气通道面积上的实际抽气速率与该处按分子泻流计算的理论抽气速率之比。
7、抽气系数。泵的实际抽气速率与泵入口面积按分子泻流计算的理论抽气速率之比。
8、返流率。泵在规定条件下工作时，与抽气方向相反而通过泵入口的单位面积、单位时间的泵液的质量流率。
9、水蒸气允许量(单位:kg/h) 在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气的质量流率。
10、允许水蒸气入口压力。在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的入口压力。
真空泵特点
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；
(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，真空泵，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；
(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；
(4)泵腔内无压缩，真空泵供应商，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；
(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。
真空泵选用的方法：
1、工艺要求达到的真空度
真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求，选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如：真空工艺要求100pa(压力)的真空度，选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求压强高于3300Pa，则优先选择水环式真空泵作为真空装置，如果压强要求低于3300Pa，则不能选择水环式真空泵，选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。
2、工艺要求的抽气量(抽气速率)
真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下，排出气体、液体，旋片式真空泵生产厂家，固体的能力)，一般单位：m3/h，L/S，m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然，真空泵的选型是一个综合过程，涉及到相关经验等因素。
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